SURFCOM NEX 拥有根据需求选择传感器•驱动部•测量台灵活的扩展性!
不但各种传感器可以单独使用,也可以将各种传感器组合起来,作为复合机使用。无论是混合型、粗糙度轮廓复合型传感器,都能根据用途自由选择。该设备适用于汽车部品或高精度小型工件等部品的检测,可大大提升测量效率。
■搭载双模式传感器的混合检测器 NEX 100 已取得专利
●搭载大范围・高精度传感器和小范围・高分辨率传感器,能从两个传感器同时感知测量数据的新原理传感器。
因此无需交换检测器,能够一次性测量表面粗糙度和轮廓形状,大幅度提高测量效率。
■轮廓测量用通用传感器 NEX030
●同等级最高精度的通用传感器,搭载了高精度光栅尺的通用型检测器。
Z 轴测量范围60mm,新开发的快速更换测臂机构,使得测臂更换简单方便。可选配上下同时测量。
测量分辨率 0.04μm(全量程)
指示精度 ±(1.5+|2H|/100)μm
■轮廓测量用高精度传感器 NEX040
●实现测力自动调整机构的高精度传感器,搭载了新型激光衍射光栅尺的高精度检测器,全范围的测量分辨率为0.02μm。
Z轴测量范围为60 mm,在快速更换测臂机构上更添加了测力自动调整机构。可选配上下同时测量。
测量分辨率 0.02μm(全量程)
指示精度 ±(0.8+|2H|/100)μm
■粗糙度测量用检测器(传感器)NEX001
●粗糙度测量用检测器 1000 μm 规格,搭载了新开发的可对应高倍率·宽范围测量的,设计简洁的传感器。
外径14 mm,测量范围1000 μm,测量倍率能达到50万倍。另外,检测器也能对应向上测量(附自动停止功能)和横向追踪测量。