产品概述
Opt-scope 是日本東京精密（ACCRETECH）推出的非接触式三维表面粗糙度与轮廓形状测量机，采用垂直相干扫描干涉法（白光干涉原理），配合独有的 DEAP 包络线/绝对相位检测算法，实现纳米级别的超高精度测量。
该机型对应 ISO 25178-2、JIS B 0681-2 三维表面性状参数国际标准。垂直方向分辨率高达 0.01 nm，Z 轴扫描范围达 20 mm，兼具大范围与高分辨率的卓越性能。标配电动 XY 载物台，支持连续测量与画面自动拼接，可应对从精密微小零件到大型工件的多种测量需求。
提供 R 型（镜头转换器型，可选 5x~100x）与 S+ 型（单镜头型，可选 2.5x~50x）两种型号，满足不同应用场景与预算需求。广泛应用于半导体、精密机械、汽车零部件、硬质合金刀具、轴承等领域的表面品质管理。
测量原理
Opt-scope 采用垂直相干扫描干涉法（白光干涉），以白色 LED 为光源。通过垂直方向（Z 轴）精密扫描，CCD 相机逐帧记录每个像素点的干涉条纹强度变化。
独有的DEAP 算法（包络线/绝对相位检测算法）从干涉条纹中精确提取每个像素的最高对比度位置，从而重建出被测表面的三维形貌。DEAP 算法的优势在于对斜面、粗糙表面等传统方法难以处理的场景，依然能获得清晰准确的测量数据。
高速相机模式下还可启用 DEAP + DEAP2 双算法，进一步提升检测速度与数据品质。结合连续测量与自动拼接功能，可突破单视场限制，对大尺寸工件进行完整的表面分析。
主要特点
DEAP 独有检测算法
独有的包络线/绝对相位检测算法 DEAP，具有大范围、高分辨率、高灵敏度的特点。即使在难以测量的斜面上，也能获得清晰准确的数据。
纳米级超高分辨率
垂直方向分辨率 0.01 nm，配合 2048×2048 高像素 CCD，可精确捕捉纳米级别的表面微观形貌与粗糙度信息。
大范围拼接测量
支持连续测量与自动拼接功能，可在任意位置、任意顺序连续测量多张画面并自动拼接为完整图形，实现大范围一次性分析。
20mm 超大Z轴范围
Z 轴扫描范围达 20 mm，远超同类白光干涉仪，可应对高段差工件测量，适用于硬质合金刀具、精密机械零件的三维形貌分析。
丰富物镜可选
R 型可选 5x~100x 六种物镜，S+ 型可选 2.5x~50x 五种物镜。测量范围从 6mm□ 至 0.13mm□，灵活适配不同视场与精度需求。
多尺寸电动载物台
电动 XY 载物台提供 25×25mm、50×50mm、200×200mm、400×400mm 四种规格，可根据工件尺寸灵活选择，最大载重 20 kg。
型号对比
- 镜头系统：镜头转换器型，可快速切换物镜
- 可选物镜：5x, 10x, 20x, 50x, 100x
- 最大测量高度：159 mm
- 工作台倾斜：±1°
- 标准相机：扫描速度 1~12 μm/s
- 高速相机（选配）：扫描速度 2~100 μm/s
- 消费电力：1005~1205 W
- 镜头系统：单镜头型，结构简洁
- 可选物镜：2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x
- 最大测量高度：200 mm
- 支持 130mm 立柱垫块将最大测量高度提升至 330mm
- 标准相机：扫描速度 1~12 μm/s
- 高速相机（选配）：扫描速度 2~100 μm/s
- 消费电力：885~1085 W
测量分析项目
典型应用
Opt-scope 凭借 0.01 nm 的超高垂直分辨率与 20 mm 的宽 Z 轴范围，广泛应用于以下领域：
